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MEMS 硫化氫氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發(fā)生變化。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。
傳感器特點
本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅固，對硫化氫靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點。
主要應(yīng)用
便攜式與固定式硫化氫監(jiān)測器；硫化氫檢測儀。
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